光的编织术:全息曝光(干涉光刻)的物理底层与应用边界
抛弃掩模版,直接利用光的干涉在微观世界“结网”。本文从波动方程出发,深度解析全息曝光的数学原理、多光束干涉模型及其在AR眼镜与光子芯片中的核心应用。
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抛弃掩模版,直接利用光的干涉在微观世界“结网”。本文从波动方程出发,深度解析全息曝光的数学原理、多光束干涉模型及其在AR眼镜与光子芯片中的核心应用。
当数值孔径(NA)超过0.85时,传统的标量衍射理论失效。本文深度解析光刻中的“矢量效应”,探讨TE/TM偏振对成像对比度的决定性影响,以及浸没式光刻中的偏振照明工程(SMO)。