矢量光学的胜利：偏振光在纳米光刻中的物理原理与工程应用
当数值孔径(NA)超过0.85时，传统的标量衍射理论失效。本文深度解析光刻中的“矢量效应”，探讨TE/TM偏振对成像对比度的决定性影响，以及浸没式光刻中的偏振照明工程（SMO）。
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THE JOURNAL
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当数值孔径(NA)超过0.85时，传统的标量衍射理论失效。本文深度解析光刻中的“矢量效应”，探讨TE/TM偏振对成像对比度的决定性影响，以及浸没式光刻中的偏振照明工程（SMO）。