白光干涉测量原理：用短相干光测表面形貌
白光干涉只在零光程差附近产生高对比度条纹；仪器扫描包络定位条纹级数，再用相位读出纳米级高度。本文给出 600 nm 中心波长、100 nm 带宽下的相干长度与 1.0 μm 台阶算例。
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THE JOURNAL
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白光干涉只在零光程差附近产生高对比度条纹；仪器扫描包络定位条纹级数，再用相位读出纳米级高度。本文给出 600 nm 中心波长、100 nm 带宽下的相干长度与 1.0 μm 台阶算例。