超表面阵列单次椭偏测量：光谱与偏振的联合编码
本文解读一种硅超表面阵列单次椭偏测量方案：400 个各向异性单元把 500–700 nm 的光谱与全斯托克斯偏振编码到一帧强度图，经标定矩阵和 L2 正则化反演，再拟合 SiO₂ 薄膜厚度与折射率。
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本文解读一种硅超表面阵列单次椭偏测量方案：400 个各向异性单元把 500–700 nm 的光谱与全斯托克斯偏振编码到一帧强度图，经标定矩阵和 L2 正则化反演，再拟合 SiO₂ 薄膜厚度与折射率。