激光散斑与散斑干涉测量原理
本文解释相干光照射粗糙表面时散斑如何由随机相位的干涉生成，给出客观散斑与主观散斑的尺寸公式，并介绍电子散斑干涉如何把颗粒状散斑变成能读出半个波长位移（632.8 nm 下约 0.32 μm）的测量工具。
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本文解释相干光照射粗糙表面时散斑如何由随机相位的干涉生成，给出客观散斑与主观散斑的尺寸公式，并介绍电子散斑干涉如何把颗粒状散斑变成能读出半个波长位移（632.8 nm 下约 0.32 μm）的测量工具。