浸没式光刻机介绍

介绍浸没式光刻机：从 CD=k1·λ/NA 与 NA=n·sinθ 出发，说明 193 nm 浸没式光刻如何用超纯水把数值孔径推过 1，以及景深、水纯度、气泡与偏振等工程代价。